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半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)

更新時(shí)間:2024-07-04

簡(jiǎn)要描述:

半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)PS系列螺桿真空泵
定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點(diǎn):
1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,成本較低,易維修
2、高壓段功耗相對(duì)低,適用于高負(fù)載應(yīng)用場(chǎng)合
3、排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積

適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程
PS系列螺桿真空泵型號(hào):PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802

PD系列螺桿真

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 產(chǎn)品廠地:東莞市
  • 訪問(wèn)次數(shù):1520
品牌其他品牌輸送介質(zhì)其他
泵軸位置臥式葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,航天,電氣

半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)

PS系列螺桿真空泵

定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點(diǎn):

1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,成本較低,易維修

2、高壓段功耗相對(duì)低,適用于高負(fù)載應(yīng)用場(chǎng)合

3、排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積


適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體面板業(yè)制程

PS系列螺桿真空泵型號(hào):PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802


PD系列螺桿真空泵型號(hào):PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,

高壓段抽速快

能耗可降低30%以上

氣冷馬達(dá)機(jī)型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無(wú)冷卻水的系統(tǒng)環(huán)境

可提供符合ATEX標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品

變螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點(diǎn):

1,運(yùn)行溫度低,適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場(chǎng)合。                2,運(yùn)轉(zhuǎn)功耗低,適用于輕負(fù)載應(yīng)用場(chǎng)合,更節(jié)能。                        3,運(yùn)行噪音更低,適用于運(yùn)行噪音低的場(chǎng)合,如:貼合機(jī),無(wú)塵室。

4,相同長(zhǎng)度轉(zhuǎn)子,抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。


真空壓力:≤7.5*10-3 Torr

                 ≤0.01 mbar

                 ≤1 pa


漢鐘PS系列、PD系列維修


維修步驟:

1、螺桿泵來(lái)料檢驗(yàn),真空度、運(yùn)行時(shí)間、振動(dòng)值、驅(qū)動(dòng)器、電氣參數(shù)。

2、全部拆卸,油污清潔,打磨。

3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件,如:軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪,以確??煽康膬?yōu)質(zhì)服務(wù)和泵浦使用壽命。

4、泵的平衡,利用平衡和分析設(shè)備,調(diào)試佳的狀態(tài),以減少噪音、振動(dòng),延長(zhǎng)軸承壽命。

5、測(cè)試檢查,參照原廠參數(shù)檢測(cè),結(jié)合客人實(shí)際要求與螺桿泵磨損

PMF半導(dǎo)體干凈系列

用途:Semi conductor,Load lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing

PMF系列型號(hào)有PMF100,PMF120,PMF612


半導(dǎo)體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)

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