nXDS10i愛德華渦旋泵維修

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式渦旋泵
Edwards 干式渦旋泵為各種應(yīng)用提供成熟的干式清潔真空解決方案。

當(dāng)需要無油抽空時，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式渦旋泵
Edwards XDS35i 干式渦旋泵

XDS 干式渦旋泵
在干泵真空領(lǐng)域，XDS 干式渦旋泵已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，在廣泛的應(yīng)用中被證明是一種堅固耐用且清潔的真

空泵解決方案。

現(xiàn)在，結(jié)合雙啟動渦旋形式技術(shù)和旁通閥，Edwards 得以提供 XDS35i 增強(qiáng)型系列泵，以補(bǔ)充我

們原有的產(chǎn)品線。

Edwards nXDS15i 干式渦旋泵
Edwards nXDS15i 干式渦旋泵

nXDS 干式渦旋泵
nXDS是我們新一代的渦旋泵，與其他泵相比，具有更高的抽取速度、更低的極限壓力、更低的功耗和

更低的噪聲級。

nXDS 泵的設(shè)計力求實現(xiàn)*現(xiàn)場維修。其智能控制功能和長達(dá)五年的維修間隔可降低擁有成本，使其

成為當(dāng)今技術(shù)*的小型干泵。

軸承護(hù)罩
確保制程氣體和軸承潤滑分離，以保證清潔真空并使?jié)櫥槐恢瞥虤怏w污染，從而延長軸承使用壽命。

智能電機(jī)驅(qū)動
意味著全程穩(wěn)定的性能、泵過載保護(hù)和遠(yuǎn)程啟動/停止功能。

高流速氣囊功能
允許泵送蒸汽，包括高達(dá) 240 gh-1 的水蒸汽

簡便的單側(cè)渦旋設(shè)計
可在數(shù)分鐘內(nèi)完成維護(hù)，以降低擁有成本并程度延長正常運行時間。

更進(jìn)一步
增強(qiáng)型在初始抽空期間可減少多達(dá) 20％ 的峰值電力需求，這意味著它能夠在不損失性能的情況下抽空

大容量腔室，且在該粗抽壓力下抽取速度可提高達(dá) 25％，這也有助于提高應(yīng)用循環(huán)頻率。

nXDS 干式渦旋泵

改善工作環(huán)境，降低環(huán)境影響
運行安靜

操作簡單
控制裝置智能且易于使用

無污染、無油
全密封、免潤滑的真空環(huán)境

低使用成本
服務(wù)間隔長，功耗低

更快的制程
蒸汽處理

nXDS10i愛德華渦旋泵維修