愛德華干泵維修適用于鋰離子電池制造設備的真空泵制造商鋰離子電池正在推動*的環(huán)保議程，可靠的高質量真空是其制造過程中的關鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由服務和支持網絡提供支持。 

愛德華干泵維修特點： 
低成本；
可減少維護成本并降低環(huán)境影響；
智能泵；
高級控制功能；

我們繼續(xù)革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。


平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edwards 可以讓您有效應對這兩種應用。

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